BANC D'ECRITURE LASER DIRECTE DE STRUCTURES MESA COMPORTANT DES FLANCS A PENTES NEGATIVES

摘要

Le domaine général de l'invention est celui des bancs de photolithographie destiné à réaliser des composants électroniques par la technique connue sous le terme de « lift-off » sur un substrat plan (1) comportant une ou plusieurs couches planes photosensibles. Le banc selon l'invention est à écriture laser directe. Il comprend des moyens optiques ou mécaniques agencés de façon que la partie utile du faisceau optique (F) soit inclinée au niveau du plan des couches photosensibles afin de créer dans lesdites couches des profils à pente inversée, la partie utile du faisceau optique étant la partie du faisceau optique qui contribue effectivement à créer lesdits profils. Dans un mode privilégiée de l'invention, le banc comporte des moyens (50) d'obturation partielle du faisceau optique situés au voisinage de l'optique de focalisation (23)