发明名称 MICROSYSTEME ELECTROMECANIQUE (MEMS).
摘要 Le microsystème électromécanique est muni d'au moins deux éléments de fixation (F1, F2) adaptés pour être fixés sur un support, un élément de fixation (F1, F2) étant lié solidairement à au moins une poutre (P1 P2) déformable en flexion.
申请公布号 FR2966813(A1) 申请公布日期 2012.05.04
申请号 FR20100004273 申请日期 2010.10.29
申请人 THALES 发明人 LEVERRIER BERTRAND;LEFORT OLIVIER;BOURA ANDRE;CHAUMET BERNARD
分类号 B81B3/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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