Optische Winkelmesseinrichtung

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Winkelmesseinrichtung zur Erfassung der Relativbewegung zwischen mindestens einem Abtastgitter und einer Teilscheibe mit mindestens einer Messteilung. Das Abtastgitter ist als lineares Abtastgitter ausgebildet und die Teilscheibe umfasst als Messteilung ein erstes und ein zweites kombiniertes Radial-Zirkulargitter und weist einen Spiegel auf. Derart erfährt ein einfallendes Strahlenbündel am Abtastgitter zunächst eine Aufspaltung in zwei Teilstrahlenbündel. Die Teilstrahlenbündel propagieren dann in Richtung des ersten kombinierten Radial-Zirkulargitters und erfahren dort eine Beugung. Die gebeugten Teilstrahlenbündel propagieren in Richtung des Spiegels und erfahren dort eine Reflexion in Richtung des zweiten kombinierten Radial-Zirkulargitters. Die Teilstrahlenbündel propagieren anschließend in Richtung des zweiten kombinierten Radial-Zirkulargitters und erfahren dort eine Beugung. Die gebeugten Teilstrahlenbündel propagieren in Richtung des Abtastgitters, wo eine Überlagerung der Teilstrahlenbündel resultiert (2a).