发明名称 Vorrichtung zur Bearbeitung durch einen Laser
摘要 <p>Eine optische Übertragungseinheit zum Übertragen eines gepulsten Laserstrahls, der durch einen Oszillator für einen gepulsten Laserstrahl zur Oszillation gebracht wurde, zu einer Fokussiereinheit in einer Vorrichtung zur Bearbeitung durch einen Laser weist eine Expandiereinheit für ein Wellenlängenband, um das Wellenlängenband des gepulsten Laserstrahls zu expandieren, der durch den Oszillator für den gepulsten Laserstrahl zur Oszillation gebracht wurde, eine Expandiereinheit für die Pulslänge, um die Pulslänge des gepulsten Laserstrahls, dessen Wellenlängenband durch die Expandiereinheit für das Wellenlängenband expandiert wurde, zu expandieren, eine Fokussierlinse, um den gepulsten Laserstrahl, dessen Pulslänge durch die Expandiereinheit für die Pulslänge expandiert wurde, zu fokussieren, eine optische Faser, um den gepulsten Laserstrahl, der durch die Fokussierlinse fokussiert wurde, zu übertragen, eine Kollimierlinse, um den gepulsten Laserstrahl, der von der optischen Faser übertragen wurde, zu kollimieren, und eine Komprimiereinheit für die Pulslänge auf, um die Pulslänge des gepulsten Laserstrahls, der von der Kollimierlinse kollimiert wurde, zu komprimieren, um die ursprüngliche Pulslänge wiederherzustellen und anschließend den gepulsten Laserstrahl, dessen Pulslänge wieder hergestellt wurde, zu der Fokussiereinheit zu übertragen.</p>
申请公布号 DE102011085406(A1) 申请公布日期 2012.05.03
申请号 DE20111085406 申请日期 2011.10.28
申请人 DISCO CORPORATION 发明人 NOMARU, KEIJI
分类号 B23K26/06;H01L21/268;H01L21/428 主分类号 B23K26/06
代理机构 代理人
主权项
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