一种双层MEMS器件堆叠封装件及其生产方法

摘要

一种双层MEMS器件堆叠封装件及其生产方法，包括引线框架及包覆引线框架载体的包封体、腔体内壁、腔体外壁。所述引线框架载体上端通过粘片胶固定粘接有第一MEMS器件，第一MEMS器件上通过粘片胶堆叠粘接有第二MEMS器件，第二MEMS器件通过第一键合线与引线框架载体的内引脚相连接，第一MEMS器件与第二MEMS器件通过第二键合线相连通。经过减薄、划片、粘片、粘片后固化烘烤、健合、包封、后固化、电镀及烘烤、打印、切中筋、成型分离、装管检验、包装等工艺，完成整个生产流程。本发明有效提高MEMS器件的稳定性，误差小、精度高，封装方法以最小和最简单的结构尺寸、最低的价格完成封装，实现MEMS器件对封装外壳所要求的功能。

主权项

一种双层MEMS器件堆叠封装件，包括引线框架及包覆引线框架载体的包封体，其特征在于：所述的引线框架为单载体引线框架，所述引线框架载体1上端固定粘接有第一MEMS器件（3），所述第一MEMS器件（3）上堆叠粘接有第二MEMS器件（21），第一MEMS器件（3）通过反打线与第二MEMS器件（21）相连，形成第二键合线（15），第二MEMS器件（21）通过第一健合线（5）与引线框架载体（1）的内引脚（4）相连接。