| 发明名称 | 溅射装置 | ||
| 摘要 | 本发明披露了一种溅射装置。该溅射装置可以包括：室；阴极，其连接于室内的一面；抽气口，其形成于室内的一面；以及护罩，其连接于阴极和抽气口之间的室内的一面，并且设置流动孔。本发明的溅射装置可以给与抽气口相邻的护罩的周围提供畅通的气体的流动环境，使得可以防止质点的发生，并且室的排气得以畅通。 | ||
| 申请公布号 | CN102437004A | 申请公布日期 | 2012.05.02 |
| 申请号 | CN201010296673.8 | 申请日期 | 2010.09.29 |
| 申请人 | SNU精密股份有限公司 | 发明人 | 尹亨硕;南宫晟泰;李泰成;朴秉瑀 |
| 分类号 | H01J37/34(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海宏威知识产权代理有限公司 31250 | 代理人 | 金利琴 |
| 主权项 | 一种溅射装置，包括：室；阴极，其连接于所述室内的一面；抽气口，其形成于所述室内的一面；以及护罩，其连接于所述阴极和所述抽气口之间的所述室内的一面，并且形成流动孔。 | ||
| 地址 | 韩国首尔特别市冠岳区奉天7洞1629-2番地 | ||