发明名称 一种安全门
摘要 本发明涉及半导体设备中的安全门技术领域,公开了一种安全门,包括门、安全门锁(2)和机械门锁,所述安全门锁(2)安装在所述门内侧上,所述机械门锁安装在所述门外侧上。本发明通过在微环境门内、外侧同时设置门锁设计了一种安全门,其结构简单,尤其适用于半导体设备中,能够保证在微环境内工作的安全性。
申请公布号 CN102434075A 申请公布日期 2012.05.02
申请号 CN201110366066.9 申请日期 2011.11.17
申请人 北京七星华创电子股份有限公司 发明人 王丽荣;董金卫;钟华
分类号 E06B5/12(2006.01)I;E05B63/14(2006.01)I 主分类号 E06B5/12(2006.01)I
代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人 王莹
主权项 一种安全门,其特征在于,包括门、安全门锁(2)和机械门锁,所述安全门锁(2)安装在所述门内侧上,所述机械门锁安装在所述门(3)外侧上。
地址 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层