径向位移传感器及磁悬浮分子泵的转子径向位移检测系统

摘要

本发明提供一种径向位移传感器及磁悬浮分子泵的转子径向位移检测系统，所述位移传感器包括检测单元和调整单元，所述调整单元用于根据不同磁悬浮分子泵的零件加工和装配精度差异，调整径向位移传感器输出信号的电压幅值。本发明提供的磁悬浮分子泵的转子径向位移检测系统包括上述径向位移传感器，将所述径向位移传感器设置于泵体内，将解调单元和处理单元设置在控制器内，可以实现磁悬浮分子泵与控制器间的互换性，同时能够提高所述径向位移传感器远距离传输时输出信号的信噪比，保证信号质量。

主权项

一种径向位移传感器，其信号输出端与磁悬浮分子泵控制器(2)内解调单元的信号输入端连接，并且其输出信号的电压幅值范围满足解调单元对输入信号电压幅值范围的要求，包括：位移传感器定子(20)，固定设置在所述磁悬浮分子泵的泵体(3)内，所述位移传感器定子(20)的内壁均匀设有2N个磁极，N为整数且2≤N≤5，2N个磁极形成四个磁极对，每个磁极对中包含2N‑2个磁极，四个所述磁极对包括X正向磁极对、X负向磁极对、Y正向磁极对和Y负向磁极对，所述X正向磁极对和所述X负向磁极对形成X向磁极对组，所述Y正向磁极对和所述Y负向磁极对形成Y向磁极对组；检测单元，包括X向检测模块和Y向检测模块；所述X向检测模块，设置在所述X向磁极对组上，且连接于正弦激励信号与地信号之间，用于检测所述磁悬浮分子泵的转子在X方向的位置；所述Y向检测模块，设置在所述Y向磁极对组上，且连接于正弦激励信号与地信号之间，用于检测所述转子在Y方向的位置；其特征在于：还包括调整单元，设置于所述泵体(3)内，用于根据不同所述磁悬浮分子泵的零件加工精度和装配精度的差异，调整所述径向位移传感器输出信号的电压幅值；所述调整单元包括：X向调整模块，与所述X向检测模块连接，用于调整所述径向位移传感器X向输出信号的电压幅值；Y向调整模块，与所述Y向检测模块连接，用于调整所述径向位移传感器Y向输出信号的电压幅值。