MEMS玻璃球面超声换能器片上集成系统及其制备方法

摘要

本发明公开一种集成球面玻璃腔聚焦超声发射器的微流道网格片上实验系统的制备方法，其特征在于以下步骤：第一步，利用热成型方法制备球形玻璃微腔或圆柱形微流道，第二步，在制备的球形玻璃微腔或圆柱形微流道上集成金属条带等振动激励源，第三步，在集成了激励源的玻璃微流道网格集成片上实验系统中放置生物细胞或分子，第四步，利用该集成片上实验系统对生物细胞或分子进行处理。本发明基于玻璃球腔自身在外加电激励或电磁激励的条件下，产生频率在20kHz~1MHz的谐振。该谐振频率频段为超声频段，可以用超声波产生的空化效应应用于生物或者化学领域的微处理，例如细胞破碎、DNA打断等。

主权项

一种玻璃球面MEMS超声换能器片上集成系统，其特征在于包括玻璃微流道系统（1）和超声激励源（2），所述玻璃微流道系统（1）是在玻璃圆片（7）上形成的，由圆柱形玻璃微流道(3)及与之相连通的球形玻璃微腔(4)以及衬底(5)构成，在玻璃微流道系统内充满流体介质，超声激励源（2）设于球形玻璃微腔的壁上，球形玻璃微腔在超声激励源的激励下产生共振并发出超声波，并在球面中心进行自聚焦。