发明名称 |
一种新型多层透明导电膜结构及其制备方法 |
摘要 |
本发明提供一种新型多层透明导电膜结构及其制备方法,是在浮法玻璃基板上,依次制备一个SiO2过渡层,一个FTO层和一个ZnO基的薄膜层。SiO2和FTO是通过浮法玻璃的在线APCVD工艺来完成,溅射沉积设备连接在浮法玻璃生产线的降温段,将合适温度的玻璃基本直接送入进样室后开始溅射生长ZnO基的透明导电氧化物薄膜。这样的多层膜具有高的光透过率,同时又不使用湿法工艺,依赖APCVD制备FTO具有绒面结构的特性,直接生成具有绒面结构的ZnO包覆FTO的透明导电双层膜。 |
申请公布号 |
CN101582461B |
申请公布日期 |
2012.05.02 |
申请号 |
CN200910080146.0 |
申请日期 |
2009.03.24 |
申请人 |
新奥光伏能源有限公司 |
发明人 |
孙劲鹏;雷志芳;唐茜 |
分类号 |
H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;C23C28/00(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0224(2006.01)I |
代理机构 |
北京市德权律师事务所 11302 |
代理人 |
李维真;王建国 |
主权项 |
一种用于薄膜太阳电池的新型多层透明导电膜结构,包括:基板(1)、SiO2过渡层(2)、FTO层(3)和ZnO基薄膜层(4)。 |
地址 |
065001 河北省廊坊市开发区华祥路106号 |