发明名称 | 用于衬底覆层的方法以及具有覆层的衬底 | ||
摘要 | 本发明建议一种用于衬底覆层的方法,其中利用等离子喷射将工艺射线(2)形式的原料(P)喷射到衬底(10;50)上,其中将原料(P)以最高20000Pa的低工艺压力注入到散焦工艺射线(2)的等离子里面并且在那里部分或全部熔化在液体或塑化的相(21)里面,其中这样调整用于工艺射线(2)的气流,使衬底(10;50)由于从液体或塑化的相(21)的离析在至少一个部位(101)覆层,该部位基于工艺射线(2)位于几何阴影里面。 | ||
申请公布号 | CN102439193A | 申请公布日期 | 2012.05.02 |
申请号 | CN201080020029.6 | 申请日期 | 2010.05.07 |
申请人 | 苏舍美特科公司 | 发明人 | R. J.达马尼;M.金德拉特 |
分类号 | C23C4/12(2006.01)I | 主分类号 | C23C4/12(2006.01)I |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 赵辛;杨国治 |
主权项 | 一种用于衬底覆层的方法,其中利用等离子喷射将工艺射线形式的原料(P)喷射到衬底(10;50)上,其中将原料(P)以最高20000Pa的低工艺压力注入到散焦工艺射线(2)的等离子里面并且在那里部分或全部熔化在液体或塑化的相(21)里面,其特征在于,所述原料(P)含有金属的母体或金属合金,使原料(P)在工艺射线(2)里面的温度低于金属母体或金属合金的沸点温度,并且这样调整用于工艺射线(2)的气流,使衬底(10;50)由于从液体或塑化的相(21)中的离析在至少一个部位(101)覆层,该部位基于工艺射线(2)位于几何阴影里面。 | ||
地址 | 瑞士沃伦 |