发明名称 |
有机TFT阵列基板及其制造方法和电子纸显示装置 |
摘要 |
本发明公开了一种有机薄膜晶体管阵列基板,包括:衬底及在衬底上形成的阵列TFT单元;在每个TFT沟道的上覆盖有保护层,保护层分为两层,其中紧靠沟道的第一层为不透光材料,第二层为硬度大于第一层材料硬度的材料。本发明不增加光刻工艺,操作简单;同时可以保护沟道处的有机半导体材料不受后序处理的影响,提高生产良率,降低生产成本;此外,保护层还可以起到遮光的作用,提高最终产品的对比度。 |
申请公布号 |
CN102437173A |
申请公布日期 |
2012.05.02 |
申请号 |
CN201110356385.1 |
申请日期 |
2011.11.11 |
申请人 |
上海中科高等研究院 |
发明人 |
汪梅林;张其国;潭莉;韩学斌;朱棋锋;申剑锋;郭晓东;于涛 |
分类号 |
H01L27/32(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;G02F1/167(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/32(2006.01)I |
代理机构 |
上海浦一知识产权代理有限公司 31211 |
代理人 |
孙大为 |
主权项 |
一种有机薄膜晶体管阵列基板,包括:衬底及在衬底上形成的阵列TFT单元;其特征在于:在每个TFT沟道的上覆盖有保护层,保护层分为两层,其中紧靠沟道的第一层为不透光材料,第二层为硬度大于第一层材料硬度的材料。 |
地址 |
201210 上海市浦东新区海科路99号 |