发明名称 |
一种用于深紫外波段的全球面折反式准直物镜 |
摘要 |
本发明提供一种用于深紫外波段的全球面折反式准直物镜,包括耦合镜组G1、折反镜组G2、准直镜组G3以及孔径光阑;所述折反镜组G2包括第四镜片L4及第五镜片L5,第四镜片L4和第五镜片L5之间距离的取值范围为49~53mm;上述各部件沿光束入射方向的顺序关系为:耦合镜组G1、第四镜片L4、孔径光阑、第五镜片L5以及准直镜组G3,且所述各部件的中心在同一直线上。本发明在第四镜片L4和第五镜片L5之间采用折反式全球面的结构设计,在反射面上分配较大的光焦度,大大降低了对激光器光源带宽的要求,使得本发明与高数值孔径光刻投影物镜和波前像差传感器配合使用,可实现高数值孔径光刻投影物镜波像差的检测。 |
申请公布号 |
CN102436058A |
申请公布日期 |
2012.05.02 |
申请号 |
CN201110417492.0 |
申请日期 |
2011.12.14 |
申请人 |
北京理工大学 |
发明人 |
李艳秋;刘晓林 |
分类号 |
G02B13/14(2006.01)I;G02B17/08(2006.01)I;G02B1/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G02B13/14(2006.01)I |
代理机构 |
北京理工大学专利中心 11120 |
代理人 |
李爱英;杨志兵 |
主权项 |
一种用于深紫外波段的全球面折反式准直物镜,其特征在于:包括耦合镜组G1、折反镜组G2、准直镜组G3以及孔径光阑;所述折反镜组G2包括第四镜片L4及第五镜片L5,第四镜片L4和第五镜片L5之间距离的取值范围为49~53mm;上述各部件沿光束入射方向的顺序关系为:耦合镜组G1、第四镜片L4、孔径光阑、第五镜片L5以及准直镜组G3,且所述各部件的中心在同一直线上;所述第四镜片L4的后表面为平面,前表面的中心区域为镀有高反膜HR的凸面反射面,前表面的外环边缘区域为镀有抗反膜AR的平面透射面;第四镜片L4前表面的中心区域为直径等于φ4的圆,其中5mm<φ4<8mm,第四镜片上凸面反射面的曲率半径的取值范围为12mm~18mm;所述第五镜片L5为弯月负透镜,其厚度的取值范围为8~15mm;前表面为凹面,其曲率半径的取值范围为65~70mm,且前表面镀有抗反膜AR;后表面为凸面,其曲率半径的取值范围为80~88mm,后表面中心区域为镀有抗反膜AR的透射面,外环边缘区域为镀有高反膜HR的反射面;第五镜片L5后表面中心区域为直径等于φ5的圆,其中2mm<φ5<20mm。 |
地址 |
100081 北京市海淀区中关村南大街5号 |