制备高透过率氮化钛镀膜玻璃的方法

摘要

本发明公开了一种制备高透过率氮化钛镀膜玻璃的方法，步骤如下：将经过清洗的玻璃基片放入气相沉积反应室，反应室抽真空，通入N2清洗；将反应室加热至600℃，以惰性气体为载气将N2、NH3和预热到41.2℃的TiCl4通入反应室，在－0.02兆帕压力下，在玻璃基片上沉积氮化钛薄膜层后，将样品自然冷却至室温，然后在空气气氛下于400-600℃热处理15-120min。本发明制备的氮化钛薄膜致密均匀、与玻璃基片结合良好，薄膜不仅在近红外区和中远红外区均有高反射率，而且在可见光区具有较好的透过率，兼具阳光控制和低辐射性能，表现出优异的节能性能。本发明制备工艺简单，生产成本低，生产效率高。

主权项

制备高透过率氮化钛镀膜玻璃的方法，其特征在于步骤如下：1）将经过清洗的玻璃基片放入气相沉积反应室，反应室抽真空，通入N2清洗反应室；2）反应室加热至600℃，将N2、NH3和预热到41.2℃的TiCl4以惰性气体为载气通入反应室，控制N2：NH3：TiCl4的流量比为300: 25: 3，保持反应室中的压力在－0.02兆帕，在玻璃基片上沉积氮化钛薄膜层，反应时间90s，然后关闭气路，再抽真空至－0.02兆帕，将样品自然冷却至室温，在空气气氛下于400‑600℃热处理15‑120min。