| 发明名称 | 生产多晶硅的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种生产多晶硅的方法，通过将包含含硅成分和氢气的反应气体引入反应器中以使硅沉积，其中，将第一反应器中的第一沉积工艺净化后的冷凝物供给到第二反应器，且用于第二反应器中的第二沉积工艺中。本发明的方法费用低，杂质也得到减少。 | ||
| 申请公布号 | CN102432017A | 申请公布日期 | 2012.05.02 |
| 申请号 | CN201110261159.5 | 申请日期 | 2011.09.05 |
| 申请人 | 瓦克化学股份公司 | 发明人 | 沃尔特·哈克尔;卡尔·赫斯;威廉·霍博尔德;赖因哈德·沃尔夫 |
| 分类号 | C01B33/035(2006.01)I | 主分类号 | C01B33/035(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人 | 张英;刘书芝 |
| 主权项 | 一种生产多晶硅的方法，通过将包含含硅成分和氢气的反应气体引入到反应器中以使硅沉积，其中，将来自第一反应器中的第一沉积工艺的净化后的冷凝物供给到第二反应器，且用于该第二反应器中的第二沉积工艺中。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||