电子电路的光学检测设备

摘要

本发明涉及一种电子电路的光学检测设备。一种集成电路等的光学检测设备包括：平面传送带，所述平面传送带沿着待分析的对象的第一方向；拍摄系统，所述拍摄系统位于所述传送带的区域的上方并且相对于所述传送带位于固定位置中，所述拍摄系统包括至少第一组数字摄像机，每一数字摄像机包括正交阵列的像素，所述摄像机沿着与所述第一方向不同的第二方向对齐，所述摄像机全部被定向成它们的像素阵列的正交方向中的一个方向与所述第一方向形成第一角度。

主权项

一种集成电路等的光学检测设备，所述设备包括：平面传送带(1)，所述平面传送带沿着待分析的对象的第一方向(X)；拍摄系统(2)，所述拍摄系统位于所述传送带的区域的上方并且相对于所述传送带位于固定位置中，所述拍摄系统包括至少第一组(2)数字摄像机(22)，每一数字摄像机包括正交阵列的像素，所述摄像机沿着与所述第一方向不同的第二方向(Y，Y′)对齐，所述摄像机全部被定向成它们的像素阵列的正交方向中的一个方向与所述第一方向形成第一角度(α)。