用于单轴精密加速度计的差分微电容及其制备方法

摘要

一种用于单轴精密加速度计的差分微电容及其制备方法，所述微电容包括上电极、可动电极、下电极，上电极和可动电极通过柱子与下电极保持悬空，上下电极均采用等位环保护，可动电极通过柱子悬空且采用弹簧作为柔性支撑，上下电极和可动电极均采用圆形电极，每个电极均有信号引出接入到信号电路中，可动电极和上下电极分别组成两个差分电容。差分微电容采用标准的MEMS工艺中的光刻、溅射、电镀、腐蚀等技术来实现的。上电极和可动电极的悬空采用牺牲层技术来实现的。本发明中，三个电极构成差分电容，工作时，一个电容值增大，另一个电容值等值减小，通过信号处理，输出值直接反映了检测量的大小，达到检测加速度的目的。

主权项

一种用于单轴精密加速度计的差分微电容，包括上电极、可动电极、下电极，上电极和可动电极通过柱子与下电极保持悬空，其特征在于：上下电极均采用等位环保护，可动电极通过柱子悬空且采用弹簧作为柔性支撑，上下电极和可动电极均采用圆形电极，每个电极均有信号引出接入到信号电路中，可动电极和上下电极分别组成两个差分电容，检测的时候一个电容值增大，另一个电容值减小，且增加量等于减小量。