发明名称 基板折断装置
摘要 本发明提供一种可良好地折断脆性材料基板的基板折断装置。折断单元(85)沿着划线(8)折断由搬送单元保持的立起姿势的脆性材料基板(7)。第1折断杆(86)沿着安装台(81)的插入孔(81b)而在一方向(插入孔(81b)的长度方向:延伸方向)延伸。数个第2折断杆(87)夹持由搬送单元(50)保持的工件(3)而设置在第1折断杆(86)的相反侧。各第2折断杆(87)在与第1折断杆(86)平行的方向延伸。如此,第1折断杆(86)及第2折断杆(87)配置在以立起姿势保持的脆性材料基板(7)的两侧。由此,无须针对第1折断杆(86)及第2折断杆(87)的各个而采取用以减轻重力影响的措施即可良好地折断脆性材料基板(7)。
申请公布号 CN102431097A 申请公布日期 2012.05.02
申请号 CN201110219292.4 申请日期 2011.07.28
申请人 三星钻石工业股份有限公司 发明人 冈岛康智;池田健一郎
分类号 B28D1/22(2006.01)I;C03B33/033(2006.01)I 主分类号 B28D1/22(2006.01)I
代理机构 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人 孟锐
主权项 一种基板折断装置,其特征在于,将形成有划线的脆性材料基板沿着所述划线折断,且包括:(a)保持单元,其以立起姿势保持所述脆性材料基板;以及(b)折断单元,其沿着所述划线折断由所述保持单元保持的所述脆性材料基板;且所述折断单元包括:(b‑1)第1折断杆,其以与所述保持单元对向的方式设置,且在一方向延伸;以及(b‑2)第2折断杆,其夹持由所述保持单元保持的所述脆性材料基板而设置在所述第1折断杆的相反侧,且在与所述第1折断杆平行的方向延伸;在所述第1折断杆及第2折断杆的延伸方向与所述划线大致平行的状态下,所述第1折断杆及第2折断杆分别接近于所述脆性材料基板的第1主面及第2主面,且所述脆性材料基板由所述第1折断杆及第2折断杆夹持,由此使设为立起姿势的所述脆性材料基板沿着所述划线折断。
地址 日本大阪