| 发明名称 | 透明等离子体坩埚 | ||
| 摘要 | 为了在2450MHz下操作在TM010模式中，透明石英坩埚的直径为4.9cm，长度为2.1cm。密封的等离子体中空位于中心轴上，天线凹入型件位于中心轴的一端，但是偏离于坩埚的中心轴并靠近中心的中空。各种TE模式也是可以的。 | ||
| 申请公布号 | CN102439691A | 申请公布日期 | 2012.05.02 |
| 申请号 | CN201080020805.2 | 申请日期 | 2010.05.07 |
| 申请人 | 塞拉维申有限公司 | 发明人 | A·S·尼特;B·普勒斯顿 |
| 分类号 | H01J65/04(2006.01)I | 主分类号 | H01J65/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人 | 王勇 |
| 主权项 | 一种透明等离子体坩埚，其尺寸被设为具有低阶横电微波模式特性或低阶横磁微波模式特性。 | ||
| 地址 | 英国凯恩斯 | ||