干燥设备、去光阻设备及干燥方法

摘要

本发明涉及干燥设备、去光阻设备、干燥方法，干燥设备包含腔室、传输装置、风刀装置及液体提供装置。腔室具有底板。传输装置设置于腔室内，用以承接待干燥物。风刀装置设置腔室内用以提供气流以带离于待干燥物清洗后的残留物。液体提供装置设置于腔室内且邻近底板，用以提供一液体至底板。本发明利用液体完整覆盖干燥工艺腔室的底部，藉以有效减低干燥装置内微粒的数量，同时减低了微粒落至待干燥物上的数量，进而提升了生产的良品率。

主权项

一种干燥设备，其特征在于，包含：一腔室，具有一底板；一传输装置，设置于该腔室内，用以承接一待干燥物；一风刀装置，设置该腔室内，用以提供一气流以带离于该待干燥物表面的残留物；以及一液体提供装置，设置于该腔室内且邻近该底板，用以提供一液体至该底板。