| 主权项 |
一种半导体器件测试系统脉冲大电流幅度校准装置，其包括：主控机箱，高速数据采集单元、数字示波器、半导体器件测试系统专用测试适配器，其中高速数据采集单元具有电压采集的“+”和“‑”端子，半导体器件测试系统专用测试适配器具有脉冲电压信号输出的“+”和“‑”端子以及脉冲电流信号输入的“+”和“‑”端子，数字示波器具有信号测试端子，半导体器件测试系统内部的脉冲大电流源具有“+”和“‑”输出端子，高速数据采集单元位于主控机箱的空槽内，半导体器件测试系统专用测试适配器位于被测半导体器件测试系统测试端，半导体器件测试系统专用测试适配器的脉冲电压端子“+”端连接到高速数据采集单元的电压采集“+”端，半导体器件测试系统专用测试适配器脉冲电压端子“‑”端连接到高速数据采集单元的电压采集“‑”端，数字示波器的信号测试端子连接到专用测试适配器示波器测试端。 |
