发明名称 Low dielectric constant plasma polymerized thin film and manufacturing method thereof
摘要
申请公布号 EP2070601(B1) 申请公布日期 2012.05.02
申请号 EP20080170636 申请日期 2008.12.04
申请人 SUNGKYUNKWAN UNIVERSITY FOUNDATION FOR CORPORATE COLLABORATION 发明人 JUNG, DONGGEUN;LEE, SUNGWOO;WOO, JIHYUNG
分类号 B05D7/24 主分类号 B05D7/24
代理机构 代理人
主权项
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