发明名称 EPITACTIC VAPOR COATING APPARATUS
摘要
申请公布号 US3461836(A) 申请公布日期 1969.08.19
申请号 USD3461836 申请日期 1965.12.28
申请人 SIEMENS AG. 发明人 HEINZ HENKER
分类号 C30B25/14;H01L21/00;(IPC1-7):C23C11/00 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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