主权项 |
一种硅通孔刻蚀方法,包括:(1)制备图形步骤:在硅片上均匀涂覆光刻胶,光刻胶厚度10~15μm;采用光刻工艺在光刻胶上制备出所需图形;(2)刻蚀步骤:利用Bosch工艺,在感应耦合等离子刻蚀机内,对制备图形的硅片进行40~80次刻蚀和钝化交替加工后,暂停加工,待光刻胶冷却后,再进行40~80次刻蚀和钝化交替加工;如此循环交替,直至硅片被刻蚀部分剩余厚度小于150um;感应耦合等离子刻蚀机工艺腔压力:30~40mtorr,温度:10~30℃;每次刻蚀和钝化交替加工中,刻蚀阶段:射频功率25~30w,感应耦合等离子功率700~800W,刻蚀时间10~12秒,加入气体为C4F8和SF6,C4F8流量:5±1sccm,SF6流量:100±5sccm;钝化阶段:射频功率10~15W,感应耦合等离子功率700~800W,钝化时间10~12秒,加入气体为C4F8和SF6,C4F8流量:100±5sccm,SF6流量:5±1sccm;(3)加培片步骤:选用厚度大于300μm的整片硅片做为培片,在培片上面涂覆真空导热油,将经过步骤(2)加工的硅片粘附在培片上面;(4)穿透步骤:对经过步骤(3)处理的硅片,采用步骤(2)的刻蚀工艺直至刻穿硅片;(5)去除光刻胶步骤:将刻穿的硅片浸入丙酮溶液,经超声波处理,去掉硅片上残余的光刻胶,得到具有通孔结构的硅片。 |