改进的倾斜入射角沉积装置、使用它制造非反射性光学薄膜的方法以及非反射性光学薄膜

摘要

本发明公开一种制造非反射性光学薄膜的方法。根据本发明，该方法包括：第一步，将玻璃基底安装在与腔室内形成的支撑杆连接的支撑板上；第二步，垂直移动支撑杆，使得玻璃基底可以与地面平行；第三步，使用沉积材料在玻璃基底上沉积第一折射层；第四步，移动支撑杆，使得沉积有第一折射层的玻璃基底可以具有一定的入射角度；第五步，利用用于增大孔隙度的过滤层，在玻璃基底上沉积折射率比第一折射层小的第二折射层，过滤层位于玻璃基底的下方区域并且增大朝向玻璃基底移动的沉积材料的孔隙度；第六步，从玻璃基底的下方区域移除用于增大孔隙度的过滤层，并且垂直移动支撑杆，使得沉积有第一折射层和第二折射层的玻璃基底可以与地面平行；和第七步，重复第三步至第五步一次，其中第一折射层和第二折射层可以由相同的沉积材料沉积形成。

主权项

一种制造防反射光学膜的方法，包括以下步骤：1)将基底安装在与沉积室内的支撑杆连接的支撑板上；2)垂直移动所述支撑杆，使得所述基底与地面平行；3)使用沉积材料在所述基底上形成第一折射层；4)移动所述支撑杆，使得形成有第一折射层的所述基底倾斜预定角度；5)利用用于增大朝向所述基底涂布的沉积材料的孔隙度的过滤层，在形成于所述基底上的第一折射层上形成第二折射层，其中第二折射层的折射率低于第一折射层的折射率，并且所述过滤层位于所述基底下方；6)移除所述过滤层，然后垂直移动所述支撑杆，使得形成有第一折射层和第二折射层的所述基底与地面平行；和7)重复步骤3)～5)一次，其中第一折射层和第二折射层由相同的沉积材料形成。