具有用于检测热辐射的屏幕夹层结构的设备和所述设备的使用

摘要

本发明涉及用于检测热辐射的设备，其具有：衬底；保护外壳，其配合于所述衬底上且其具有导电材料，且具有背对所述衬底且含有孔隙的顶部；以及堆叠，其在所述保护外壳内部配合于所述衬底上，其具有至少一个具有至少一个用于将所述热辐射转为电信号的热检测器元件的检测器支撑件、至少一个具有至少一个用于读取所述电信号的读取电路的电路载体，以及至少一个用于覆盖所述检测器元件的盖，其中所述检测器支撑件布置在所述电路载体与所述盖之间，所述检测器支撑件和所述盖以一个在另一个上方的方式布置，使得所述检测器支撑件的所述检测器元件和所述盖在其间具有所述堆叠的至少一个第一堆叠空腔，所述堆叠空腔通过所述检测器支撑件和通过所述盖而界限，所述电路载体和所述检测器支撑件以一个在另一个上方的方式布置，使得所述检测器支撑件和所述电路载体在其间具有所述堆叠的至少一个第二堆叠空腔，所述第二堆叠空腔通过所述电路载体和通过所述检测器支撑件而界限，且所述第一堆叠空腔和/或所述第二堆叠空腔被抽空或可被抽空，且其中所述堆叠具有面向所述衬底的堆叠顶部，且借助于所述堆叠顶部，所述堆叠与所述孔隙啮合，使得所述堆叠顶部可从所述保护外壳的外部接入。所述设备可用于运动传感器、存在检测传感器和热图像相机中。

主权项

一种用于热辐射的检测的装置(1)，其拥有：衬底(210)；保护外壳(220)，其附接到所述衬底(210)且拥有导电材料，所述保护外壳(220)具有背对所述衬底(210)的顶部侧(223)，其中顶部侧(223)提供有开口(221)；以及在所述保护外壳(220)内安装于所述衬底(210)上的堆叠(10)；所述堆叠(10)具有至少一个具有至少一个将所述热辐射转换成电信号的热检测器元件(111)的检测器衬底(11)、至少一个具有至少一个读出所述电信号的读出电路(121、122)的电路衬底(12)，以及至少一个覆盖所述检测器元件(111)的盖(13)；其中所述检测器衬底(11)布置在所述电路衬底(12)与所述盖(13)之间；所述检测器衬底(11)和所述盖(13)以一个在另一个上方的方式布置，使得在所述检测器衬底(11)的所述检测器元件(111)与所述盖(13)之间存在所述堆叠(10)的通过所述检测器衬底(11)和所述盖(13)界定的至少一个第一堆叠空腔(14)；所述电路衬底(12)和所述检测器衬底(11)经布置，使得在所述检测器衬底(11)与所述电路衬底(12)之间存在所述堆叠(10)的通过所述电路衬底(12)和通过所述检测器衬底(11)界定的至少一个第二堆叠空腔(15)；且所述第一堆叠空腔(14)和/或所述第二堆叠空腔(15)被抽空；且其中所述堆叠(10)拥有背对所述衬底(210)的堆叠顶部侧(225)，借此所述堆叠的所述堆叠顶部侧(225)与所述开口(221)啮合，使得所述堆叠项部侧(225)可从所述保护外壳(220)的外部接入。