图像传感器芯片的测试方法及其测试探针台

摘要

本发明公开了一种图像传感器芯片的测试方法及其测试探针台。旨在提供一种结构简单、通用性好、投入成本低、测试效率高的CIS芯片的测试方法及其对图像传感性能测试的探针台。它是被测试图像传感器的芯片是由多个芯片组合组成晶圆的状态下进行的。利用上述图像传感器芯片的测试方法所设计的探针台，包括有可前后、左右水平移动的XY平台，在XY平台上安装有可上下运动的升降台，升降台上安装有供放置晶圆并可作周向旋转的载晶盘，在载晶盘的上方通过支撑架，悬空安装有探针卡，其特征是在载晶盘下方的升降台中设置有产生光线的光源。该发明保证定位精度的同时也能减少对CIS芯片的损伤，还大大提高了测试的自动化程度和效率。

主权项

一种图像传感器芯片的测试方法，其特征是被测试图像传感器的芯片是由多个芯片组合组成晶圆的状态下进行的。