一种用于卷绕镀膜机上的残余气体分析装置

摘要

本实用新型涉及一种气体分析装置，尤其涉及一种用于卷绕镀膜机上的残余气体分析装置，属于真空镀膜领域与气体分析领域。它包括卷绕镀膜机中的放卷真空室、计算机，感应探头伸入到放卷真空室中，对展开后快速移动的PET卷材预处理后产生的气体进行及时的收集；感应探头另一端与计算机连接，与残余气体分析仪相连，通过软件将待测气体的质谱图显示出来，并与标准气体库进行对比，就可确定气体的成分和含量。

主权项

一种用于卷绕镀膜机上的残余气体分析装置，它包括卷绕镀膜机中的放卷真空室（2）、计算机（3），其特征在于：感应探头（1）伸入到放卷真空室（2）中，感应探头（1）另一端与计算机（3）连接。