由感应法生产多晶硅锭的方法及其实施装置

摘要

本发明涉及使用感应法制备多晶硅。该方法包括以熔融空间的形式熔融和铸造池，结晶多晶硅锭，并且通过加热设备将其控制冷却。池熔融和铸造终止后，随着整个锭块的控制冷却，结晶硅锭剩余部分的结晶完成；然后将锭块以及可移动底和加热设备一起移去；然后继续控制冷却。同时，另一个加热设备与另一个可移动底供给到空出空间；然后新的可移动底移动到水冷坩埚中；为了生产下一个锭块，重复处理步骤。实施该方法使用的设备，进一步包括安装在控制冷却室中的平台，设计成沿其轴旋转。该平台具有至少两个加热设备。本发明确保能提高适用于太阳电池制造的多晶硅的产量。

主权项

一种由感应法生产多晶硅锭的方法，包括如下步骤：装料，并在控制气氛中、在水冷坩埚的熔融空间中的可移动底上，启动加热块状硅装入料，制成熔化硅浴，然后将熔化硅熔融和铸造成熔融空间的形状，结晶成多晶硅锭，使用加热设备可控地冷却硅锭，当熔化硅中的杂质含量达到临界时，终止熔融和铸造步骤，以及从装料和启动加热块状硅装入料开始重复该处理步骤，其特征在于，终止熔融和铸造步骤时，由于整个锭块是可控的冷却，多晶硅锭剩余部分的结晶步骤结束；结晶完成时，多晶硅锭与可移动底和加热设备一起移去，并且以可控方式进一步冷却；并且同时，将另一套包括另一个可移动底的加热设备提供到空出的空间；然后将该另一个可移动的底移动到水冷坩埚内；并且重复该处理步骤，以生产下个锭块。