微机械耦合度可重构微波功率在线检测器及其制备方法

摘要

本发明的微机械耦合度可重构微波功率在线检测器由一个耦合度可重构的微波功率耦合器和一个间接加热式MEMS微波功率检测器构成；该结构以砷化镓为衬底，可重构耦合器通过两对MEMS悬臂梁开关结构控制其进入低、中、高耦合度三种工作状态，实现对微波信号的可重构在线式采集；该耦合器耦合输出端接有终端匹配电阻，完全吸收从耦合器主线采集来的微波信号功率，并转化为热能，在由金属热偶臂和半导体热偶臂组成的热电堆附近形成温度差，由该热电堆在输出压焊块上产生与微波功率相对应的恒定的电势差，从而完成耦合度可重构的微波功率在线式检测。

主权项

一种微机械耦合度可重构微波功率在线检测器，制作在砷化镓衬底（28）上，在其上设有主线（5）、副线（6）、耦合微带线（7，8）、过渡微带线（9），MEMS悬臂梁结构（13，20）、驱动电极（15）、引线（17）、压焊块（18）、空气桥（19）、隔离电阻（22）、终端匹配电阻（23）以及热电堆，其特征在于该器件是一个由四端口微波器件退化而得到的二端口器件，其由可重构的微波功率耦合器与间接加热式微波功率检测器两部分共同组成的；所述的可重构耦合器包含用于连接输入端口（1）和直通输出端口（2）的主线（5）、用于连接耦合输出端口（3）和隔离端口（4）的副线（6）、过渡微带线（9）、被副线孤立的耦合微带线（7和8）以及两对MEMS悬臂梁开关结构（13和20），在副线（6）上的隔离端口（4）连接隔离电阻（22）；所述的间接加热式微波功率检测器包含可重构耦合器的耦合输出端（3）、终端匹配电阻（23）、热电堆以及热电堆的输出压焊块（26），其耦合输出端（3）并联连接两个终端匹配电阻（23）。