环型灯源检验平台

摘要

本发明为有关一种环型灯源检验平台，属于机电类，包括有承置架与复数发光件。该承置架包括有可供固定放置一预设光罩的承置平台与一支撑该承置平台的支架；而发光件距该承置架一预定距离且呈环绕设置于该承置架，该各发光件朝该承置架方向设置。藉由上述结构，本发明除了改善人工夹取光罩可能产生的掉落风险，更可提供多角度的检验，以提高光照的质量，避免视觉上的死角。

主权项

一种作为晶圆模具的光罩的环型灯源检验平台，其特征在于：一承置架，包括有能够固定放置一预设光罩的承置平台与一支撑该承置平台的支架；复数发光件，距该承置架一预定距离且呈环绕设置于该承置架，该复数发光件设置于一灯架上，朝该承置架方向设置，该灯架呈圆形环绕设置于承置架上。