用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统

摘要

本发明提供了用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其能解决现有手工操作存在的硅片破碎率高的问题，能降低生产成本、提高劳动生产率、降低工人劳动强度。其包括安装于PECVD设备的进料端侧的主机架、控制系统、待处理硅片送料机构、已处理硅片出料机构、硅片转运机构以及硅片的横向搬运机构，待处理硅片送料机构与已处理硅片出料机构沿纵向平行布置于主机架的横向两侧，硅片转运机构沿纵向布置、并安装于待处理硅片送料机构与已处理硅片出料机构之间，硅片的横向搬运机构安装于主机架上、并横跨于待处理硅片送料机构、硅片转运机构、已处理硅片出料机构的上方，待处理硅片送料机构、已处理硅片出料机构、硅片转动机构、硅片的横向搬运机构与控制系统之间均电控连接。

主权项

用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其包括主机架，所述主机架安装于PECVD设备的进料端侧，其特征在于：其包括控制系统、待处理硅片送料机构、已处理硅片出料机构、硅片转运机构以及硅片的横向搬运机构，所述待处理硅片送料机构与已处理硅片出料机构沿纵向平行布置于所述主机架的横向两侧，所述硅片转运机构沿纵向布置、并安装于所述待处理硅片送料机构与已处理硅片出料机构之间，所述硅片的横向搬运机构安装于所述主机架上、并横跨于所述待处理硅片送料机构、硅片转运机构、已处理硅片出料机构的上方，所述待处理硅片送料机构、已处理硅片出料机构、硅片转动机构、硅片的横向搬运机构与所述控制系统之间均电控连接。