一种晶体材料区熔基磷检测装置

摘要

一种晶体材料区熔基磷检测装置，涉及晶体材料杂质磷含量的检测装置，所述密闭腔体设置在机架中部，上部升降机构对应密闭腔体且通过上轴(7)联动密闭腔体内的原料棒，下部升降机构上部通过下轴(14)联动密闭腔体内的籽晶，所述上部升降机构、密闭腔体和下部升降机构为同心设置，上部升降机构和下部升降机构通过丝杠、导轨做轴向运动，所述密闭腔体通过抽气口连接管(30)连接真空泵；本实用新型通过设置在密闭腔体上下端的上、下部的升降系统的联动将原料晶棒在具有气体保护环境状态下的密闭腔体内将多晶拉制成符合要求的单晶，本实用新型具有结构简单，易于操作，密封性能好，且能快速开合，实现了效率高，成本低的目的。

主权项

一种晶体材料区熔基磷检测装置，包括上部升降机构、密闭腔体、下部升降机构、导轨和机架，其特征是：所述密闭腔体设置在机架中部，上部升降机构对应密闭腔体且通过上轴(7)联动密闭腔体内的原料棒，下部升降机构上部通过下轴(14)联动密闭腔体内的籽晶，所述上部升降机构、密闭腔体和下部升降机构为同心设置，上部升降机构和下部升降机构通过丝杠、导轨做轴向运动，所述密闭腔体通过抽气口连接管(30)连接真空泵形成所述晶体材料区熔基磷检测装置。