一种蜂窝状常压等离子体自由基清洗设备

摘要

一种蜂窝状常压等离子体自由基清洗设备，包括一个机械手、等离子体发生器、旋转基底以及进气系统，其特征为：一个等离子体发生器固定在一个机械手上，该等离子体发生器是在一个壳体内由彼此绝缘的上电极和下电极构成，该上电极是安装在一个绝缘板上并由多个被绝缘介质包覆的柱状电极构成，该下电极是一个设有蜂窝状孔的金属电极，该上下电极之间设有一个进气舱，上电极中的每个柱电极是穿过进气舱并插在下电极的蜂窝孔中，并与蜂窝孔形成一定的放电间隙，该放电间隙贯通进气舱，该进气舱通过气体导管与高压气源连接，等离子体是在蜂窝孔间隙中产生，并在气体压力带动下，由下电极蜂窝喷口喷射到放置在旋转底盘表面的硅片上，来去除硅片表面的光刻胶以及有机污染物。

主权项

一种蜂窝状常压等离子体自由基清洗设备，包括一个机械手、等离子体发生器、旋转基底以及进气系统，其特征为：等离子体发生器被固定在一个移动机械手上，该等离子体发生器的电极由被绝缘介质包覆的上电极和金属下电极构成，其中金属下电极上布满了蜂窝状的孔，上电极插入蜂窝孔中，并与下电极有一定间隙，等离子体发生器中有一个进气舱，工作气体通过进气舱进入蜂窝孔中的上下电极之间的间隙，等离子体发生器工作时，在间隙之间放电产生等离子体自由基，在气压差的作用下，气体携带等离子体自由基从等离子体发生器中喷射出来，喷射到被清洗的硅片表面。