具有可调式电导体的装置及调整可调式电导体的方法

摘要

本发明提供具有可调式电导体的装置及调整可调式电导体的方法，该装置包括用于半导体制程中的一压力反应室的一种可调式上电极或上线圈，该可调式上电极或上线圈的形状可选择性地被改变，而可调式上电极或上线圈包括两部分，这些部分可选择地由不同的功率或频率所驱动，因此，可调式上电极及上线圈可使压力反应室中的等离子体密度分布可选择地被控制。

主权项

一种装置，包括：一压力反应室，包括一空间；一晶片承载部，设于该压力反应室中，用以承载一半导体晶片或基板；以及一可调式电导体，设于该压力反应室中且与该晶片承载部隔开，该可调式电导体用以产生一等离子体，该等离子体具有一密度，并且该密度于该压力反应室中的该空间中可选择性地被改变，其中该可调式电导体包括一线圈绕组，该线圈绕组包括至少两个线圈，这些线圈互相相对移动以改变该线圈绕组的至少一维度，该些线圈分别由中心向外螺旋状延伸。