| 发明名称 | 一种TFT液晶显示器返修制程中的光刻胶剥离方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种TFT液晶显示器返修制程中的光刻胶剥离方法，所述方法包括：按照预设干法去胶参数，进行干法去胶，剥离光刻胶表层部分；进行湿法去胶，将剩余光刻胶剥离。通过本发明实施例，能够有效将光刻胶剥离干净，避免了残留的光刻胶对后续工艺造成的影响。 | ||
| 申请公布号 | CN102436154A | 申请公布日期 | 2012.05.02 |
| 申请号 | CN201110435583.7 | 申请日期 | 2011.12.21 |
| 申请人 | 信利半导体有限公司 | 发明人 | 陈建荣;刘兴华;于春崎;任思雨;胡君文;谢凡;李建华 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 逯长明 |
| 主权项 | 一种TFT液晶显示器返修制程中的光刻胶剥离方法，其特征在于，包括：按照预设干法去胶参数，进行干法去胶，剥离光刻胶表层部分；进行湿法去胶，将剩余的光刻胶剥离。 | ||
| 地址 | 516600 广东省汕尾市城区工业大道信利电子工业城 | ||