| 发明名称 | 靶材与背板的焊接方法及形成的靶材组件 | ||
| 摘要 | 一种靶材与背板的焊接方法，包括：在靶材的背面形成多个燕尾槽，在背板的正面形成与燕尾槽匹配的多个燕尾状凸起；将靶材与背板叠合放置，并使燕尾状凸起与燕尾槽咬合在一起；采用静压方式处理靶材与背板中心区域，利用电子束焊接靶材与背板的边缘结合区域。本发明还提供一种靶材组件，包括靶材与背板，其中，所述靶材的背面形成有多个燕尾槽，所述背板的正面形成有与燕尾槽匹配的多个燕尾状凸起。采用了本发明的技术方案，可以避免了现有技术中采用钎焊的方式，需采用焊料，降低了成本，且形成的靶材组件不会因焊料限制而影响出口，且实现了环保目的，同时避免了采用实现条件要求较高的热等静压焊，工艺简单易操作。 | ||
| 申请公布号 | CN102430865A | 申请公布日期 | 2012.05.02 |
| 申请号 | CN201110321235.7 | 申请日期 | 2011.10.20 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 发明人 | 姚力军;潘杰;王学泽;郑文翔 |
| 分类号 | B23K28/02(2006.01)I;B23K15/06(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | B23K28/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种靶材与背板的焊接方法，其特征在于，包括：在靶材的背面形成多个燕尾槽，在背板的正面形成与燕尾槽匹配的多个燕尾状凸起；将靶材与背板叠合放置，并使燕尾状凸起与燕尾槽咬合在一起；采用静压方式处理靶材与背板中心区域，利用电子束焊接靶材与背板的边缘结合区域。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号 | ||