FP腔增强型电注入光子晶体带边面发射激光器

摘要

本发明公开了一种FP腔增强型电注入光子晶体带边面发射激光器，该激光器具有深刻蚀孔的光子晶体结构，该光子晶体结构具有带边面发射性质，且位于FP脊形条上，FP脊形条宽度较宽，FP腔长度较长，P电极完全位于脊形条上，根据光子晶体的对称性，可以扩展FP腔的结构。利用本发明，能够实现低成本的电注入光子晶体带边面发射激光器，且本结构可以用于集成光路中特征信号的读出器，通过对FP腔结构的扩展，可以实现多通道耦合增强。

主权项

一种FP腔增强型电注入光子晶体带边面发射激光器，其特征在于，该激光器包括：深刻蚀孔(1)、光子晶体区域(2)、脊形条(3)、两个相互平行的自然解理镜面(4)、P电极(5)、有源晶片结构和N电极(11)，其中，有源晶片结构由上到下依次包括高掺杂层(6)、上波导层(7)、有源层(8)、下波导层(9)和衬底层(10)，P电极(5)形成于高掺杂层(6)之上，脊形条(3)形成于上波导层(7)的上部，脊形条(3)的上表面与高掺杂层(6)的下表面接触，且P电极(5)、高掺杂层(6)和脊形条(3)完全对准；光子晶体区域(2)形成于高掺杂层(6)上，位于P电极(5)中间，光子晶体区域(2)中具有多个深刻蚀孔(1)，其深度从有源晶片结构的表面一直贯穿有源层(8)至下波导层(9)；N电极(11)形成于衬底层(10)的背面；两个相互平行的自然解理镜面(4)是利用自然解理工艺在垂直于脊形条(3)的方向上形成的，其构成FP腔。