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发明名称 LIFT-OFF DEVICE AND SPIN UNIT THEREOF
摘要
申请公布号 KR101140305(B1) 申请公布日期 2012.05.02
申请号 KR20100027672 申请日期 2010.03.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/027 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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