氟化氩光掩模盒运送装置和方法

摘要

本发明提供一种运送氟化氩光掩模盒的装置和方法，该装置至少包括：一氟化氩光掩模运送小车，小车上放置至少一个氟化氩光掩模盒，小车上还有一个安全气柜用以存放已放置惰性气体源的气体钢瓶，气体钢瓶与氟化氩光掩模盒之间使用气体管路连接。本发明使用内置有惰性气体源的运输装置运送氟化氩光掩模盒的方法，从而解决了在生产中在光掩模盒充气存储柜和光刻机之间运送氟化氩光掩模盒没有惰性气体充气的问题，并能防止氧气从过滤膜进入氟化氩光掩模盒，避免掩模板上面产生雾状污染物,可以有效地延长氟化氩光掩模盒的使用寿命。

主权项

一种用于运送存放掩模板的氟化氩光掩模盒的装置，其特征在于，其至少包括：一氟化氩光掩模板运送小车，小车上放置至少一个氟化氩光掩模盒，小车上还有一个安全气柜用以存放已放置惰性气体源的气体钢瓶，气体钢瓶与氟化氩光掩模盒之间使用气体管路连接。