多激光脉冲序列能量时域累积方法

摘要

多激光脉冲序列能量时域累积方法属于激光加工技术领域。现有变能量亚微米快速激光加工方法采用容量不同的储能电容为激光器泵浦供电，获得幅值、脉宽不同的激光脉冲，但是，由于电光转换效率不稳定，激光输出也不稳定；该方法对硬件的要求很高；缺乏柔性。本发明其特征在于采用连续激光器，通过调Q产生脉冲频率及脉宽不同、幅值相同的若干激光脉冲序列，由脉冲频率高、脉宽窄的激光脉冲序列提供较大的激光加工能量，由脉冲频率低、脉宽宽的激光脉冲序列提供较小的激光加工能量，由多段脉冲频率及脉宽不同、幅值相同的激光脉冲序列在激光加工时域里组成一个激光脉冲序列串，工件对应吸收的能量与能量时域累积曲线一致。

主权项

一种多激光脉冲序列能量时域累积方法，是一种亚微米快速激光加工方法，由激光脉冲进行变能量加工，其特征在于，采用连续激光器，通过调Q产生脉冲频率及脉宽不同、幅值相同的若干激光脉冲序列，由脉冲频率高、脉宽窄的激光脉冲序列提供较大的激光加工能量，由脉冲频率低、脉宽宽的激光脉冲序列提供较小的激光加工能量，由多段脉冲频率及脉宽不同、幅值相同的激光脉冲序列在激光加工时域里组成一个激光脉冲序列串，工件对应吸收的能量与能量时域累积曲线一致。