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发明名称 A METHOD FOR CHEMICALLY PROCESSING A SURFACE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND A DEVICE FOR THE SAME
摘要
申请公布号 KR20120041810(A) 申请公布日期 2012.05.02
申请号 KR20127009639 申请日期 2007.08.23
申请人 WUXI SUNTECH POWER CO., LTD. 发明人 JI JINGJIA;SHI ZHENGRONG;QIN YUSEN
分类号 H01L21/302;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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