空间相移装置及应用该装置的干涉测量装置、相位校正装置

摘要

本发明提供一种干涉测量装置，包括用以产生偏振状态相互正交线偏振光的装置，该相互正交线偏振光分别称为参考光和测试光；相位调制式空间光调制器，设置于参考光或测试光的光路中，用以改变光波前的空间相位分布；该空间光调制器具有复数个像素，每一像素具备特定的相位分布；其中，经所述空间光调制器相位调制后的光称为调制光，未经调制的光称为未调制光；基于所述调制光和未调制光实现干涉测量的干涉仪；对干涉仪产生的相干光探测的光探测装置；且二者像素相对应。本发明提供的装置，不但可以实现多个空间载波相移分布时的测量，而且还可以实现高精度动态测量。本发明还提供一种空间相移装置以及液晶空间光调制器相位校正装置。

主权项

一种干涉测量装置，其特征在于包括，用以产生偏振状态相互正交线偏振光的装置，该相互正交线偏振光分别称为参考光和测试光；相位调制式空间光调制器，设置于参考光或测试光的光路中，用以改变光波前的空间相位分布；该空间光调制器具有复数个像素，每一像素具备特定的相位分布；其中，经所述空间光调制器相位调制后的光称为调制光，未经调制的光称为未调制光；基于所述调制光和未调制光实现干涉测量的干涉仪；对干涉仪产生的相干光探测的光探测装置，该光探测装置具备与所述空间光调制器相同的像素分布；且二者像素相对应。