防反射膜及其制造方法、光学部件、以及塑料透镜

摘要

本发明提供一种水蒸气阻隔性能优异，可抑制裂纹产生的防反射膜。所述防反射膜在基材上具有至少包含含有SiOx的层的低折射率层、和高折射率层，利用离子辅助法对含有SiOx的层的至少1层进行蒸镀成膜。

主权项

一种防反射膜的制造方法，所述防反射膜是在基材上具有至少包含含有SiOx的层的低折射率层、和高折射率层的防反射膜，其中x为氧化度，且表示不足2的数，所述制造方法包括在所述基材上边照射等离子体边利用蒸镀对所述含有SiOx的层的至少1层进行成膜的工序。