天线单元和感应耦合等离子体处理装置

摘要

本发明提供能够生成与矩形基板正对的状态的等离子体的天线单元，和能够使用该天线单元对矩形基板进行均匀的等离子体处理的感应耦合等离子体处理装置。在具有轮廓呈矩形的平面型天线(13a)的天线单元中，天线(13a)通过将多个天线导线(61、62、63、64)在同一平面内以角部的匝数比边的部的匝数多的方式卷绕而整体呈螺旋状地构成，天线导线的配置区域呈边框状，按照由天线(13a)的外廓线(65)和内廓线(66)围成的边框区域(67)相对于将天线(13a)的相对的2个边贯穿的中心线成为线对称的方式，在各天线导线形成有弯曲部(68)。

主权项

一种天线单元，具有形成感应电场的轮廓呈矩形的平面型的天线，该感应电场生成用于在等离子体处理装置的处理室内对矩形基板进行等离子体处理的感应耦合等离子体，该天线单元的特征在于：所述天线通过将多个天线导线在同一平面内以角部的匝数比边的中央部的匝数多的方式进行卷绕而整体呈螺旋状地构成，天线导线的配置区域呈边框状，按照由所述天线的外廓线和内廓线围成的边框区域相对于将所述天线的相对的2个边贯穿的中心线成为线对称的方式，在各天线导线形成有弯曲部。