发明名称 Cleaning Apparatus and Method
摘要
申请公布号 EP1612845(B1) 申请公布日期 2012.05.02
申请号 EP20050253879 申请日期 2005.06.22
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 O'DONNELL, ROBERT J.;ANDERSON, THOMAS W.
分类号 F26B3/00;F26B7/00;H01L21/00 主分类号 F26B3/00
代理机构 代理人
主权项
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