制造三甲基镓的方法

摘要

本发明提供一种三甲基镓以及一种制造该三甲基镓的方法。三甲基镓具有小于0.1 ppm的总有机矽化合物含量；且方法包括：水解作为原材料的三甲基铝；以一溶剂萃取所含有的有机矽化合物；藉由气相色谱-质谱法对甲基三乙基矽烷进行定量；选择具有小于0.5 ppm甲基三乙基矽烷含量的三甲基铝作为原材料；藉由蒸馏进行提纯；接着与氯化镓反应；并且随后蒸馏反应物溶液以获得三甲基镓。