微透镜之制造方法

摘要

本发明主要目的系提供可依简便方法形成具有最大膜厚位置不同于重心位置之形状，且其形状滑顺之微透镜的微透镜之制造方法。;本发明系藉由提供下述微透镜之制造方法，而解决上述问题；该方法系包括有：基础形状形成用曝光步骤，其系对在基板上所形成的感光性树脂层，使用微透镜基础形状形成用遮罩施行曝光；以及变形用曝光步骤，其系对上述感光性树脂层，使用微透镜变形用遮罩，施行具有与上述基础形状形成用曝光步骤施行之际的曝光不同单位格子曝光分布之曝光；可形成最大膜厚位置不同于重心位置的微透镜。