药液供给用有衬里液箱及药液供给用有衬里液箱之药液泄漏侦测方法

摘要

本发明之课题为提供，当使药液供给用有衬里液箱呈现非开放状态(将药液保持乾净之状态)，并在此状态下测定绝缘电阻时，可轻易侦测液箱本体或是液面测量用之管线之何处发生泄漏、或是药液渗透已进展至何种程度之药液供给用有衬里液箱及药液供给用有衬里液箱之药液泄漏侦测方法。;本发明之解决手段为一种药液供给用有衬里液箱，系具有：于内面被覆耐蚀性材料而成之有衬里液箱本体2a、液面测量用之管线12、及经由测量绝缘电阻而侦测药液渗透之泄漏检查装置36，在药液供给用有衬里液箱2中，将前述液面测量用之管线12与前述有衬里液箱本体2a藉由绝缘螺栓40连接，以侦测有无在前述有衬里液箱本体2a或前述液面测量用之管线12中之药液渗透所造成之泄漏。