具有对流式散热构造之长晶炉

摘要

本发明系关于一种具有对流式散热构造之长晶炉，其中，长晶炉之炉内空间容设有加热室，加热室有上隔板、数个侧隔板、及下隔板。上隔板开设有上开口，下隔板开设有开口。矽浆冷凝时，透过下驱动器以驱动下阀门打开开口，使冷气流经由开口流入加热室下层，继由上驱动器驱动上阀门打开上开口，使热气流经由上开口流出、并沿着冷却之炉壁顺流而下，由开口流回加热室内。其自动对流式循环散热流场，可快速散热节省时间、提高生产效率。于冷却过程中，自底部开始固化结晶循序往上，使矽晶碇无内应力及碎裂存在，矽晶碇品质优良。